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以激光在太阳能领域的应用为例，介绍了激光刻槽设备光机系统的组成及工作原理。该系统使用532 nm短脉冲激光器，采用双激光器四分光路、两级激光扩束设计，重点解决了两级扩束自动调焦的问题。在多晶硅片上进行了刻槽试验，槽宽20μm～40μm，刻线深度可调节，线宽及线深均符合要求。
太阳能晶硅电池激光刻槽设备光机系统设计
【摘 要】
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以激光在太阳能领域的应用为例，介绍了激光刻槽设备光机系统的组成及工作原理。该系统使用532 nm短脉冲激光器，采用双激光器四分光路、两级激光扩束设计，重点解决了两级扩束自动
【机 构】
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中国科学院苏州生物医学工程技术研究所医用光学室,江苏省医用光学重点实验室
【出 处】
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机械设计与制造工程
【发表日期】
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2014年8期
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