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采用金属有机物分解法（MOD）制备了掺La钛酸铋铁电薄膜并对其膜的形成过程进行了红外、拉曼光谱研究，为高性能铁电薄膜的制备做出前期准备。研究表明，膜的形成经历了有机物分解和晶相转变过程，相变从600℃开始至700℃基本结束。结晶过程中掺入的La^3＋取代了晶格中Bi^3＋的位置，降低了钛酸铋的晶相转变温度，导致了晶格中TiO4构成的正八面体畸变，从而影响了晶体的结构及性能。