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“新基建”为光电子产业的进一步发展提供了难得的机遇,光电子产业自身的发展应首先加强基础研发能力建设.文章描述了化合物半导体光电子器件的外延生长、薄膜淀积、光刻、键合等主要工艺制程的特点;分析了光电子产业中智能制造、数字化制造、分散化制造、绿色制造等能力建设趋势.
“新基建”环境下光电子产业基础能力建设的探索
【摘 要】
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“新基建”为光电子产业的进一步发展提供了难得的机遇,光电子产业自身的发展应首先加强基础研发能力建设.文章描述了化合物半导体光电子器件的外延生长、薄膜淀积、光刻、键
【机 构】
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重庆声光电有限公司,重庆,401332
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2020年3期
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