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本文介绍的尺寸测量系统采用半导体激光器作光源,可对非回转体类零件的位置尺寸进行非接触在线测量,并可根据测量结果实时输出反馈控制信号,对生产过程实现闭环控制和在线检测.本文最后还给出了实验结果和误差分析,根据数据对比可知,该测量系统的测量误差≤±4μm.
半导体激光器在尺寸测量系统中的应用
【摘 要】
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本文介绍的尺寸测量系统采用半导体激光器作光源,可对非回转体类零件的位置尺寸进行非接触在线测量,并可根据测量结果实时输出反馈控制信号,对生产过程实现闭环控制和在线检
【机 构】
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装甲兵技术学院电子系武器光学教研室
【出 处】
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测试技术学报
【发表日期】
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2004年z6期
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