【摘 要】
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利用溶胶-凝胶法在（100）Si片和玻璃衬底上制备出Mg^2＋掺杂的ZnO（MgxZn1-xO）薄膜,研究了Mg^2＋掺杂对ZnO薄膜结构和光学性能的影响。XRD图谱表明,当x〈0.30时,MgxZn1-xO薄膜为纤锌矿
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利用溶胶-凝胶法在（100）Si片和玻璃衬底上制备出Mg^2＋掺杂的ZnO（MgxZn1-xO）薄膜,研究了Mg^2＋掺杂对ZnO薄膜结构和光学性能的影响。XRD图谱表明,当x〈0.30时,MgxZn1-xO薄膜为纤锌矿结构,随着x值的增加,晶格常数c逐渐减小,a逐渐增大,但晶胞体积V几乎不变;当0.3≤x〈0.7时出现相分离;当x≥0.7时,MgxZn1-xO薄膜为MgO的立方相结构。紫外可见光透射光谱表明,Mg^2＋掺杂增大ZnO薄膜的禁带宽度,同时也提高可见光的透过率。
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