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现有成品率及关键面积估计模型中。假定缺陷轮廓为圆。而70％的实际缺陷轮廓接近于椭圆．提出了椭圆缺陷轮廓的成品率模型，该模型与圆模型相比更具有一般性．而圆模型轮廓的成品率模型仅为新模型的特例．比较了新模型与真实缺陷及其圆模型引起的成品率损失。表明新模型在成品率估计方面更加精确．
椭圆缺陷轮廓的成品率估计
【摘 要】
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现有成品率及关键面积估计模型中。假定缺陷轮廓为圆。而70％的实际缺陷轮廓接近于椭圆．提出了椭圆缺陷轮廓的成品率模型，该模型与圆模型相比更具有一般性．而圆模型轮廓的成品率模
【机 构】
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西安电子科技大学宽禁带芈导体材料与器件教育部重点实验室,西安电子科技大学通信工程学院,西安电子科技大学理学院
【出 处】
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西安电子科技大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2006年3期
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