【摘 要】
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针对28 nm产品锗硅工艺产生的极微小颗粒缺陷,应用光学检测系统,探索了缺陷检测方法,建立缺陷的在线监控指标。据此建立缺陷失效模型和评估了缺陷的改善方案。对缺陷检测方法
【机 构】
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上海华力集成电路有限公司,上海华力微电子有限公司
【基金项目】
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上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金(1500204)
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针对28 nm产品锗硅工艺产生的极微小颗粒缺陷,应用光学检测系统,探索了缺陷检测方法,建立缺陷的在线监控指标。据此建立缺陷失效模型和评估了缺陷的改善方案。对缺陷检测方法进行了系统的研究:通过热扫描检出缺陷样本,收集并分析缺陷样本在不同扫描条件组合下的信号噪声比,最终确定缺陷检测条件。根据工艺特性以及相关试验结果建立了缺陷失效模型,据此推导缺陷改善方向,并最终通过实验验证了改善措施的有效性。最终通过优化锗硅工艺前湿法清洗、优化锗硅工艺前氧化硅薄膜质量以及优化锗硅工艺选择比等条件,使缺陷问题得到解决。针对极微
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