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基于QPD的单透镜微角度测量系统及其关键技术研究
基于QPD的单透镜微角度测量系统及其关键技术研究
来源 :轻工机械 | 被引量 : 0次 | 上传用户:angelagao00
【摘 要】
:
介绍了一种基于QPD的单透镜微角度测量系统。通过对其关键技术如采取的光学原理、光学器件光电探测器的选择和离焦设置,小尺寸的可行性分析计算等,最后得出设计出一种结构紧
【作 者】
:
金伟锋
廉孟冬
居冰峰
【机 构】
:
浙江大学流体传动及控制国家重点实验室
【出 处】
:
轻工机械
【发表日期】
:
2011年3期
【关键词】
:
精密加工
微角度测量
4象限光电二极管(QPD)
单透镜
precision machining
micro-angle measurement
quadr
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介绍了一种基于QPD的单透镜微角度测量系统。通过对其关键技术如采取的光学原理、光学器件光电探测器的选择和离焦设置,小尺寸的可行性分析计算等,最后得出设计出一种结构紧凑,体积小,携带方便,灵敏度高,可测量微小角度的测量系统的可行性。同时通过实验得出测量系统大致的测量范围和测量精度。
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