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一氮化三铜薄电影被 reactiveDC (直接水流)在玻璃底层上扔磁控管在 0.5 Pa N2 部分压力和不同 substratetemperatures.The 劈啪作响同样准备的电影，与X光检查衍射描绘了，原子力量显微镜学，andX光线光电子光谱学大小，显示出 CU3N 雏晶 withanti-Re03 结构的镇静的结构和结果的电影的细微氧化。CU3N 电影的晶体结构和生长率被底层温度强烈影响。CU3N 电影的比较喜欢的水晶的取向是(111 ) 并且(200 ) 在 RT， 100 座 deg