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有限元法是MEMS安全系统仿真的基本方法。以大型有限元仿真软件ANSYS／LS-DYNA为工具，应用动力学运动方程的直接积分方法（中心差分法）求解运动方程。对设计方案进行了说明。
有限元法在MEMS安全系统仿真中的应用
【摘 要】
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有限元法是MEMS安全系统仿真的基本方法。以大型有限元仿真软件ANSYS／LS-DYNA为工具，应用动力学运动方程的直接积分方法（中心差分法）求解运动方程。对设计方案进行了说明。
【机 构】
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西安机电信息研究所
【出 处】
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探测与控制学报
【发表日期】
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2006年1期
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