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用磁控溅射方法制备TiO2/Cu超晶格. 通过X射线衍射和电镜手段对其进行测试, 利用X射线傅氏线形分析法对超晶格的微观参数进行表征, 通过TEM对超晶格的截面形貌进行观察, 发现其具有柱状生长结构.
TiO2／Cu超晶格结构表征
【摘 要】
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用磁控溅射方法制备TiO2/Cu超晶格. 通过X射线衍射和电镜手段对其进行测试, 利用X射线傅氏线形分析法对超晶格的微观参数进行表征, 通过TEM对超晶格的截面形貌进行观察, 发现
【机 构】
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吉林大学测试中心,吉林大学材料科学系,四平师范学院物理系
【出 处】
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吉林大学自然科学学报
【发表日期】
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2001年3期
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