铝的剥离工艺

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本文叙述了一种制备具有大的纵横比的微细铝线的剥离工艺.用此法所制得的铝线宽度最小约为2μm,最厚约为1μm. In this paper, a stripping process for preparing a fine aluminum wire with a large aspect ratio is described. The width of the aluminum wire produced by this method is about 2 μm minimum and the thickness is about 1 μm.
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