论文部分内容阅读
利用化学气相沉积（CVD）法制备高纯钛,对低价钛卤盐的热裂解作了动力学研究;重点分析该法制备高纯钛过程中,沉积基体温度和低价钛卤盐蒸气压对钛生长过程的影响。得出钛的生长速率与基体温度和低价钛卤盐蒸气压的关系式,并计算出低价钛卤盐蒸气压为86.1Pa时低价钛卤盐热裂解的表观活化能;讨论了整个反应历程,发现在生长区（沉积基体附近）内低价钛卤盐的迁移是该过程的速率控制步骤。