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空间调制傅里叶变换红外光谱仪无可动部件，系统稳定而紧凑，而且程差可控，可实现在线监测和实时检测。多级微反射镜是光谱仪干涉系统的关键器件，其在系统中的位置精度对光谱仪性能影响很大。本文对多级微反射镜的倾斜误差引起的光程差变化进行了理论计算，并利用光学软件进行了模拟仿真。分析结果表明，随着多级微反射镜倾斜角度的增大，干涉图对比度下降，对应的光谱图脉冲谱线展宽，信噪比下降，严重时会出现波数偏离。以上分析方法对后期系统公差分配及装调有着重要的指导意义。