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针对半导体扩散炉温度控制问题,提出神经网络控制方法.神经网络采用3-3-3结构.仿真表明,此控制方法是可行的,具有良好的控制品质.
基于神经网络的半导体扩散炉温度控制研究
【摘 要】
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针对半导体扩散炉温度控制问题,提出神经网络控制方法.神经网络采用3-3-3结构.仿真表明,此控制方法是可行的,具有良好的控制品质.
【机 构】
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湖北襄樊学院物理系
【出 处】
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河西学院学报
【发表日期】
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2005年2期
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