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隔振技术是纳米技术中的关键问题之一。通过二维隔振系统的力学分析，设计出了纳米级微动试验台的隔振系统。该系统具有良好的隔振效果，对超精密机床、超精定位机构等的超低传递率隔振设计有一定的参考价值。
纳米级微动试验台隔振理论研究
【摘 要】
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隔振技术是纳米技术中的关键问题之一。通过二维隔振系统的力学分析，设计出了纳米级微动试验台的隔振系统。该系统具有良好的隔振效果，对超精密机床、超精定位机构等的超低传递
【机 构】
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盐城工学院机械工程系,南京航空航天大学506教研室
【出 处】
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盐城工学院学报
【发表日期】
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2000年2期
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