【摘 要】
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针对目前甲硫醇气体检测手段相对复杂、耗时且成本较高的现状,本文发展半导体气体传感方法对其进行检测,通过将水热法与后续热处理相结合,制备出CuO纳米片材料,并利用XRD、TE
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,中国科学院固体物理研究所,华中科技大学光学与电子信息学院
【基金项目】
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国家重大科技专项项目(2017ZX02201002);国家重点研发计划项目(2016YFC0201103)
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针对目前甲硫醇气体检测手段相对复杂、耗时且成本较高的现状,本文发展半导体气体传感方法对其进行检测,通过将水热法与后续热处理相结合,制备出CuO纳米片材料,并利用XRD、TEM、SEM、HRTEM对材料的结构和微观形貌进行表征。所制备的CuO纳米片作为敏感材料在139℃下对甲硫醇表现出优异的敏感特性,检测下限可达到12ppb,响应和恢复时间分别为10.4s和64.8s,同时具有优异的可重复性。该优异传感性能可能归因于CuO纳米片表面吸附的氧物种与甲硫醇之间发生的氧化还原反应,其导致CuO表面的空穴积累层变化
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