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利用压电晶体的逆压电效应,设计并制作了一种纳米精度步进马达.将实际结构简化为理论模型,从理论上对马达的动态特性进行分析,获得了纳米马达步进运动的一些参数判据,并对马达的步进运动特征进行了软件模拟.
一种压电纳米马达的运动动力学分析
【摘 要】
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利用压电晶体的逆压电效应,设计并制作了一种纳米精度步进马达.将实际结构简化为理论模型,从理论上对马达的动态特性进行分析,获得了纳米马达步进运动的一些参数判据,并对马
【机 构】
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上海交通大学微/纳米科学技术研究院
【出 处】
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机器人
【发表日期】
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2004年4期
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