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单晶蓝宝石具有较高的机械和光学性能,广泛应用于光电子、通信和国防等领域。蓝宝石材料(A1203)硬度极高(奠氏硬度达到 9 级,仅次于金刚石),透光传热性能好,化学性能稳定(抗酸碱腐蚀),光学、机械、化学性能优异。研究了单晶蓝宝石石衬底晶片的化学机 械抛光工艺。
单晶蓝宝石衬底晶片的化学机械抛光工艺研究
【摘 要】
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单晶蓝宝石具有较高的机械和光学性能,广泛应用于光电子、通信和国防等领域。蓝宝石材料(A1203)硬度极高(奠氏硬度达到 9 级,仅次于金刚石),透光传热性能好,化学性能稳定(抗
【机 构】
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中芯国际集成电路制造（天津）有限公司
【出 处】
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电脑乐园
【发表日期】
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2020年7期
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