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讨论了在采用离子镀获得Al2 O3 与TiO2 混合涂层工艺过程中 ,真空度、基片偏压、电子枪功率等主要工艺参数对涂层性能的影响
Al_2O_3与TiO_2混合离子镀过程中工艺参数对涂层性能的影响
【摘 要】
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讨论了在采用离子镀获得Al2 O3 与TiO2 混合涂层工艺过程中 ,真空度、基片偏压、电子枪功率等主要工艺参数对涂层性能的影响
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
【出 处】
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腐蚀与防护
【发表日期】
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2003年06期
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