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基于第一性原理密度泛函理论,计算分析了纯ZnO,N、Hf单掺和共掺后ZnO体系的晶格常数、能带结构和态密度.计算结果表明:单掺时较纯ZnO体系的体积呈增大趋势,共掺时比N单掺略大;带隙宽度也呈现类似变化.此4种体系相比,N、Hf共掺的ZnO具有相对稳定的结构,相对较窄的带隙,与Hf单掺相比较弱的n型体系.