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文章简要叙述了微腔激光器的基本工作原理。采用先进的ＬＰＥ及反应离子刻蚀等微细加工技术制作了盘型－ 图钉式微腔结构，测得其有源区的光荧光谱的半宽度为０ ．０３２ ｅＶ，波长为８１５ ．３３ ｎｍ 。
半导体微腔激光器
【摘 要】
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文章简要叙述了微腔激光器的基本工作原理。采用先进的ＬＰＥ及反应离子刻蚀等微细加工技术制作了盘型－ 图钉式微腔结构，测得其有源区的光荧光谱的半宽度为０ ．０３２ ｅＶ，波长为８１５ ．３３ ｎｍ 。
【机 构】
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长春光机学院高功率半导体激光国家重点实验室!长春130022
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1999年5期
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