【摘 要】
：
设计一台高性能的交流双极脉冲电源,用于驱动反应式磁控溅射靶机在透明基底上制备Zn O:Al薄膜。对电源的输出电压、电流、等离子体放电特性和光电辐射光谱特性进行测试,讨论
【机 构】
：
辽宁装备制造职业技术学院,中国人民解放军空军大连通信士官学校
论文部分内容阅读
设计一台高性能的交流双极脉冲电源,用于驱动反应式磁控溅射靶机在透明基底上制备Zn O:Al薄膜。对电源的输出电压、电流、等离子体放电特性和光电辐射光谱特性进行测试,讨论不同工作气压对电源电气特性的影响。实验结果表明,该电源多变量可控,具备良好的电弧削弱能力,可驱动磁控溅射靶机在活性气体环境中制备出高沉积率的Zn O:Al透明薄膜。系统结构简单,性价比高,具有较强的市场推广能力。
其他文献
近年来,新生代农民工家庭流入城市的数量不断增加,其随迁子女的学前教育问题日益突出,现已成为社会关注的热点。当前新生代农民工随迁子女学前教育面临一系列问题,应采取坚持
大兴安岭精神是社会主义核心价值体系在大兴安岭经济社会发展进程中的具体体现。进一步继承和弘扬大兴安岭精神,是大兴安岭建设社会主义核心价值体系的本质要求,具有极强的现
介绍了CFG桩与碎石桩组合桩复合地基加固处理软土地基的加固处理机理、适用范围、施工工艺及施工中为保证成桩质量采取的一些施工措施。通过工程实例来证明CFG桩与碎石桩组合
改革开放以来,非公有制经济在促进国民经济高速增长、解决就业、增加税收、扩大出口等方面发挥了重要作用,但非公有制经济发展仍面临一些问题。推动非公有制经济进一步发展,
<正>一波行情短线出现调整很正常,涨高了要跌,跌低了要涨,涨涨跌跌才是股票。股民就是要在涨跌的走势中做差价,不然按兵不动、上上下下地坐过山车挺