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加热室是多晶硅铸锭炉的关键部件之一。多晶硅锭的生长工艺过程都要通过加热室的调整来实现。着重介绍了多晶硅铸锭炉加热室的结构设计。
多晶硅铸锭炉加热室的设计
【摘 要】
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加热室是多晶硅铸锭炉的关键部件之一。多晶硅锭的生长工艺过程都要通过加热室的调整来实现。着重介绍了多晶硅铸锭炉加热室的结构设计。
【机 构】
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国防科学技术大学研究生院,湖南证兴设备安装工程有限公司,中国电子科技集团公司第四十八研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年7期
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