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采用化学溶液分解法（CSD）在p型Si〈100〉衬底上制备了（Bi0.88Ce0.12）2Ti2O7薄膜,分别借助X线光电子能谱仪、紫外-可见分光光度计研究了薄膜的化学特性、紫外-可见吸收光谱等结构性能。结果表明,在烧绿石相Bi2Ti2O7薄膜中掺杂Ce3＋取代部分Bi3＋后,薄膜在高温退火下仍能保持原有的相结构。利用HP4192A型阻抗分析仪测试薄膜的电容-电压（C-V）特性,计算出600℃、650℃、700℃、750℃退火条件下薄膜的介电常数分别为144、190、214、176,固定电荷密度值分别为3