【摘 要】
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以反射式高能电子衍射(RHEED)作为实时监测工具,根据GaAs(100)表面重构相与衬底温度、As4等效束流压强之间的关系,对分子束外延(MBE)系统中衬底测温系统进行了校准,这种方法
【机 构】
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贵州大学理学院贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵州师范大学物理与电子科学学院,
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以反射式高能电子衍射(RHEED)作为实时监测工具,根据GaAs(100)表面重构相与衬底温度、As4等效束流压强之间的关系,对分子束外延(MBE)系统中衬底测温系统进行了校准,这种方法也适用于其他的MBE系统.为生长高质量的外延薄膜材料、研究InGaAs表面粗糙化及相变等过程提供了实验依据.
Based on the relationship between the surface reconstruction temperature of GaAs (100) and the substrate temperature and the equivalent beam pressure of As4, the substrate of molecular beam epitaxy (MBE) system was characterized by using reflection high energy electron diffraction (RHEED) This method is also applicable to other MBE systems, which provides an experimental basis for the growth of high quality epitaxial thin film materials, researching the process of InGaAs surface roughening and phase transformation.
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