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利用有限元分析软件FLUENT对MEMS微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传输成为金属沉积的控制步骤时，进行对流一扩散传质过程数值模拟，研究不同深宽比微结构中对流一扩散对传质的影响。模拟结果表明：当对流-扩散传质成为控制步骤时，渗透流影响镀层基本形貌，回流会引起镀层形貌的微小起伏。
对流-扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响
【摘 要】
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利用有限元分析软件FLUENT对MEMS微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传输成为金属沉积的控制步骤时，进行对流一扩散传质过程数值模拟，研究不同深宽比微结构中对流一扩散对传
【机 构】
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上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2010年8期
【基金项目】
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上海市科委科研计划资助项目（0852nm02600）,国家重点实验室基金资助项目（9140C79030302090C79）
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