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对经超临界干燥与经自然干燥处理的多孔硅样品的表面形貌、光致发光、Raman光谱和光吸收特性进行了对比研究 .扫描电子显微镜和Raman光谱分析表明 ,经超临界干燥处理与自然干燥处理的多孔硅样品的微结构存在显著的差异 .经超临界干燥处理的样品的骨架没有塌缩 .而自然干燥的样品的骨架则出现严重碎裂 .另外 ,这两种多孔硅样品的光致发光和光吸收光谱也有较大的差异