用准光波导方法测量聚合物薄膜光学参数

来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:redbird_zdc
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本文报道用准光波导方法测量了沉积在棱镜底面上的聚苯乙烯和聚醚砜薄膜,确定了这两种聚合物薄膜的折射率和薄膜厚度.并用偏振光测定了其双折射.薄膜折射率测量误差为±1×10~(-3),薄膜厚度测量误差为±0.01μm. This paper reports the measurement of the refractive index and film thickness of polystyrene and polyethersulfone films deposited on the underside of a prism using a quasi-optical waveguide method and their birefringence as measured by polarized light. The measurement error is ± 1 × 10 -3, and the measurement error of the film thickness is ± 0.01 μm.
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