接触式表面轮廓测量仪的非线性误差分析与补偿

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分析了大量程接触式轮廓测量过程中非线性误差产生的原因,改进了测杆结构,建立了非线性误差模型,推导出多项式拟合误差的补偿算法,采用标准球通过实验反算出多项式系数并验证了该方法的可靠性。
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