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复合量程加速度计阳极键合过程中产生的残余热应力会引起加速度计的零位失调，也是导致加速度计失效的原因之一。对键合过程中产生的残余热应力进行了研究，仿真并分析了残余热应力与键合温度、玻璃基底厚度和框架键合宽度的影响，确定了适合复合量程加速度计的最佳键合宽度和玻璃基底厚度。
复合量程加速度计阳极键合残余应力研究
【摘 要】
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复合量程加速度计阳极键合过程中产生的残余热应力会引起加速度计的零位失调，也是导致加速度计失效的原因之一。对键合过程中产生的残余热应力进行了研究，仿真并分析了残余热应
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室电子测试技术重点实验室
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2013年3期
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