干法工艺的恒压供气

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：nmhnhjcf

【摘要】

：

本文讨论恒压供气的基本原理及有关计算,扼要介绍初步的实验结果。 This article discusses the basic principles of constant pressure gas supply and related calculati

【作者】

：

龚汩清

【机构】

：

长沙半导体工艺设备研究所

【出处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

干法工艺气体量气体流量质量流量计容器通导初步实验结果流量计初步实验即流量

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本文讨论恒压供气的基本原理及有关计算,扼要介绍初步的实验结果。 This article discusses the basic principles of constant pressure gas supply and related calculations, a brief introduction to the preliminary experimental results.

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