硅中注入高浓度碳形成微晶碳化硅的研究

来源 :光电子·激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fugaowen

【摘要】

：

为实现OEIC的全Si化,以适应稀土Er发光的宽带隙半导体材料.研究了C-Si基底上注C形成微晶碳化硅(μ c-SiC)的途径.经高浓度注C,在1 100～1 000 ℃ 2 h退火,经X-ray与Raman测试证

【作者】

：

孙钟林薛俊明耿卫东于振瑞陆靖谷

【机构】

：

南开大学光电子所

【出处】

：

光电子·激光

【发表日期】

：

2001年12期

【关键词】

：

离子注入C 退火微晶碳化硅硅 implanting C annealing μ cSiC

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

为实现OEIC的全Si化,以适应稀土Er发光的宽带隙半导体材料.研究了C-Si基底上注C形成微晶碳化硅(μ c-SiC)的途径.经高浓度注C,在1 100～1 000 ℃ 2 h退火,经X-ray与Raman测试证明可以获得μ c-SiC结构.因为在宽带隙μ c-SiC中能量回传很少,故对Er在波长1.54 μm的室温光致发光是有利的.

其他文献

基于非理想克尔介质的弧形波导全光开关

本文用有限差分光束传播法(FD-BPM)模拟并给出了基于理想克尔介质的弧形波导全光开关的开关特性曲线,分析了克尔介质中的非克尔非线性效应.用FD-BPM就非线性饱和以及背景吸收

期刊

全光开关克尔效应光束传播法非理想克尔介质弧形波导alloptical switch Kerr effect beam propagation meth

nc—Si／SiO2多层薄膜的三阶非线性光学性质

用简并四波混频技术研究了ｎｃ－Ｓｉ／ＳｉＯ２多层薄膜的三阶非线性光学性质，观察到了位相共轭信号，测得实验用样品在光波波长为５８９ｎｍ处的三阶非线性极化率χ＾（３）为４．１×１０＾－７ｅｓｕ，并对该材料的光学非线性产生机理作

期刊

nc-Si/SiO2薄膜简并四波混频光学非线性nc-Si/SiO_2 thin film degen erate four-wave mixing(DFW

我国学前儿童受教育权法律保障机制的完善——基于国家义务的视角

虐童行为不仅侵犯了学前儿童的生命健康权,还间接危害到其受教育权,虐童事件的发生与我国学前教育制度的种种痼疾密切相关。学前儿童的受教育权是宪法上的基本权利,具有自由

期刊

学前教育受教育权基本权利国家义务法律保障

数字散斑相关三维面形测量的局部搜索快速算法

提出了在数字散斑时间序列相关三维面形测量中提高计算速度的局部搜索快速算法。通过寻找合理的搜索空间 ,缩小相关计算的范围 ,从而减少相关计算的次数 ,达到了提高计算速度的效果。本文介绍了快速算法的基本原理 ,给出了在复杂物体三维面形测量中的应用实例

期刊

局部搜索快速算法数字散斑时间序列相关三维面形测量Digital speckle Temporal sequence correlation 3D sha

大面积高效率高稳定非晶硅太阳电池的研究

根据电流连续性原则和光伏材料选择原则，对叠层电池的电流匹配进行了研究，结果表明，电流匹配是影响叠层电池短路电流和转换效率的重要因素之一，电流匹配可以通过调整单元电池厚度

期刊

非晶硅基叠层太阳电池转换效率电流匹配aSitandemsolarcellsefficiencycurrentmatching

激光散射测量聚合物凝胶结构非均匀性

采用静态和动态激光散射测量了透明聚合物凝胶结构的空间相关性和时间相关性.结果发现,凝胶中含有动态相关长度不同的两种区域,在不同的测量点处,两种区域的百分比差异较大,

期刊

激光散射测量聚合物凝胶结构非均匀性静态光散射SLS动态光散射DLSExperimentsLight scatteringPolymers

一种新型纵向放电脉冲CO2激光器

本文在纵向放电脉冲 CO2激光器中采用了纵向多段脉冲预电离技术,在相同的条件下,激光器的工作电压降低了18 %,电光转换效率提高了53 %.

期刊

纵向放电多段脉冲预电离电光转换二氧化碳激光器longitudinal discharge multisegment pulsed preionizati

企业风险水平对盈利能力的影响分析

<正>通过上次的讨论,刘总经理理解了企业的总风险可以分为经营风险和财务风险两大类,但对于这两类风险如何计量还不十分清楚。今天两人约好就风险对企业盈利能力影响的计量问

期刊

息税前收益可变性销售量股东收益经营杠杆盈利能力

分子肿瘤标记物在甲状腺癌诊断中的意义

期刊

甲状腺肿瘤肿瘤标记物

论城市设计与我国的城市历史保护

在我国市场经济体制不断完善的今天，将城市设计引入城市历史保护的条件已趋于成熟。本文通过分析目前我国城市历史保护方面存在的问题，论述了城市设计的保护策略对我国城市历史

期刊

市场经济城市设计城市历史保护保护策略

硅中注入高浓度碳形成微晶碳化硅的研究

其他学术论文