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多孔硅膜微结构的透射电镜研究
多孔硅膜微结构的透射电镜研究
来源 :物理实验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wuxingyu0406
【摘 要】
:
用透射电镜观察到由Si(lll)衬底生长的多孔硅膜具有双层结构和明显的不均匀微结构,初步探讨了荧光机理与微结构的关系。
【作 者】
:
李刚
钟以诚
【机 构】
:
复旦大学物理系近代物理实验室
【出 处】
:
物理实验
【发表日期】
:
2000年7期
【关键词】
:
多孔硅
微结构
透射电镜
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用透射电镜观察到由Si(lll)衬底生长的多孔硅膜具有双层结构和明显的不均匀微结构,初步探讨了荧光机理与微结构的关系。
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