论文部分内容阅读
X射线光刻是一种能满足大规模集成电路生产的加工技术。本文论述了X射线光刻技术的发展历史和前景，阐述X射线光刻机的光源、曝光系统、掩摸和步进驱动平台等的主要结构和研制动机，提出在X射线光刻机设计中要注意的几个主要问题。
X射线光刻机的开发研制
【摘 要】
：
X射线光刻是一种能满足大规模集成电路生产的加工技术。本文论述了X射线光刻技术的发展历史和前景，阐述X射线光刻机的光源、曝光系统、掩摸和步进驱动平台等的主要结构和研制
【机 构】
：
天津理工学院机械工程学院
【出 处】
：
天津理工学院学报
【发表日期】
：
2002年3期
其他文献
当代汉语外译是对外汉语文化教学中不可或缺的一环,文化之于语言教学的地位和作用是不言而喻的,同时这也就对如何将母语文化作品推介到其他文化中,并收到好的推介效果提出了
采用光学显微镜、扫描电镜、透射电镜和拉伸力学性能测试等方法研究了Ti元素对挤压态Cu-15Ni-8Sn合金微观组织和力学性能的影响。结果表明:随着Ti含量的增加,合金抗拉强度及
针对外语教育的功利主义倾向和外语专业学生人文教育、能力培养的缺失，外语院校应加强实施通识教育已成为外语界人士的共识。近年来外语院校陆续实施通识教育，也取得一些成绩。
薯蓣皂苷及其衍生物具有多种药理活性，近年来尤以选择高效、低毒、环保的薯蓣皂苷及其苷元的提取分离技术和抗肿瘤活性及其机制的研究关注程度较高。综述了近年来薯蓣皂苷及苷
玉米是世界上最重要的谷类作物之一，其种植面积已跃居第一位，玉米产量直接关系到整个农业经济发展和农民增收。玉米种质的改良创新及强优势玉米新品种的选育已成为育种家不断追
爱情是什么？心理学界至今无法给出令人信服的答案。爱情，作为大学校园经久不衰的话题，深刻影响着大学生的大学生活，从而影响着大学生的幸福感和成长发展。面对当今社会出现的很多
为比较松褐天牛Monochamus alternatus 2种新型引诱剂诱捕效果,于2015年5—10月在四川省自贡市富顺县开展松褐天牛诱捕试验。结果表明:2种引诱剂对松褐天牛均有一定诱捕效果
我国可再生能源电力配额制在应对可再生能源管理体制政出多门、部门职责不清晰时也受制于各地以火电为主的能源体系的限制。新出台的《可再生能源电力配额及考核办法》(以下
我国道路交通事故万车死亡率连续多年居世界第一，道路交通安全形势非常严峻。驾驶人是道路交通系统的信息处理者和决策者，在交通事故的发生中起着关键的作用，而很多交通事故的发
从20世纪末期以来人们已经开始意识到作为一种间接书面语言表达方式，阅读是读者与作者之间的一种动态交流过程。确切地说，这种动态交流过程成为了学习阅读最佳技巧的基础，也是大