【摘 要】
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日本东芝公司和德田公司已经联合制成一种全自动反应型离子刻蚀系统(TRIE).这种系统能够刻蚀出线条宽度小于1微米的高精度线条.其工作原理大致如下:真空刻蚀钟罩内充
Toshib
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日本东芝公司和德田公司已经联合制成一种全自动反应型离子刻蚀系统(TRIE).这种系统能够刻蚀出线条宽度小于1微米的高精度线条.其工作原理大致如下:真空刻蚀钟罩内充
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