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为了研究光纤表面等离子体共振传感器的传感特性，利用TFCalc软件仿真研究光纤表面等离子体共振（SPR）传感器的反射光谱特性。考查了敏感膜为A1膜及被氧化的A1膜对反射光谱特性的影响。仿真结果表明，A1膜的被氧化程度对反射光谱的影响较大，对光纤表面等离子体共振传感器的灵敏度影响也较大。
光纤表面等离子体共振传感器Al膜氧化的仿真研究
【摘 要】
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为了研究光纤表面等离子体共振传感器的传感特性，利用TFCalc软件仿真研究光纤表面等离子体共振（SPR）传感器的反射光谱特性。考查了敏感膜为A1膜及被氧化的A1膜对反射光谱特性的
【机 构】
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东北石油大学电子科学学院
【出 处】
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科学技术与工程
【发表日期】
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2012年16期
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