【摘 要】
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用透射电镜对具有不同厚度元素层的Ａｇ／Ｎｉ超晶格薄膜在加热过程的结构变化进行原位观察。原始态的超晶格薄膜都具有程度不同的由Ａｇ／Ｎｉ失配界面引起的点阵应变；在较低温度下，点阵应变即开始
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用透射电镜对具有不同厚度元素层的Ａｇ／Ｎｉ超晶格薄膜在加热过程的结构变化进行原位观察。原始态的超晶格薄膜都具有程度不同的由Ａｇ／Ｎｉ失配界面引起的点阵应变；在较低温度下，点阵应变即开始出现弛豫。对原始态每个元素层包含５个原子面的样品，温度达２５０℃时，部分新晶粒开始形成并长大；直至约３５０℃，应变弛豫和晶粒长大的过程同时进行。温度再升高至４００℃，部分晶粒迅速粗化。终使超晶格薄膜的层状周期结构在约
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