基于TRIZ的MEMS封装技术及应用研究

来源 :哈尔滨师范大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：YCY8899

【摘要】

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运用技术创新理论（TRIZ）冲突矩阵,分析恶化参数、改善参数,得出对应原理来解决微型机电系统（MEMS）器件变形问题.经过分析得出,增加芯片折叠长度可以解决LED芯片变形问题,进而解决

【作者】

：

于慧伶崔姗姗王铁滨李丹范德林

【机构】

：

东北林业大学

【出处】

：

哈尔滨师范大学自然科学学报

【发表日期】

：

2014年5期

【关键词】

：

TRIZ冲突矩阵热膨胀系数倒装焊接傅里叶定律 TRIZ conflict matrix Coefficient of thermal expansion

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运用技术创新理论（TRIZ）冲突矩阵,分析恶化参数、改善参数,得出对应原理来解决微型机电系统（MEMS）器件变形问题.经过分析得出,增加芯片折叠长度可以解决LED芯片变形问题,进而解决红外摄像机寿命短的问题.通过解决MEMS器件变形问题可以促进芯片倒装焊技术的发展,继而推动TRIZ理论在林业装备的进一步应用研究.

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