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引线微夹持器是IC／LED键合系统的关键模块。该文综合采用压电智能材料与柔性联接的组合结构，设计了键合系统的引线微夹持器。利用有限元法，计算了微夹持器的振动模态与静力特性，获得了系统的固有频率、振动模态及电信号驱动下的支臂端部张开量。在实验上，通过高速摄像系统的跟踪实验，捕获了系统支臂端部的运动行为，获得了系统张开量与驱动电压的关系；并用激光非接触测量技术，获得系统端部的振动特性。该文计算与实验均为引线微夹持器的可靠性应用提供基础。