论文部分内容阅读
在实现了高效晶圆传输全自动控制的基础上．阐述了靶室晶圆传送系统运动部件的结构和各自的功能；介绍了整个晶圆传输控制系统的设计思路，在采用高性能多轴运动控制卡和机械手模块的硬件基础上，引用了有限状态机对系统软件进行了智能化模型设计。
300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计
【摘 要】
：
在实现了高效晶圆传输全自动控制的基础上．阐述了靶室晶圆传送系统运动部件的结构和各自的功能；介绍了整个晶圆传输控制系统的设计思路，在采用高性能多轴运动控制卡和机械手模块
【机 构】
：
北京中科信电子装备有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2010年5期
其他文献
绿色设计就是生态设计或者环境设计,而水利工程一般规模较大,征迁移民占地较多,对区域环境会产生一定的影响,尤其是水资源时空重新分配对水环境产生较大影响。因此,在工程设
对影响混凝土抗渗性能的因素进行了分析,介绍了提高混凝土抗渗性能的常规方法,通过分析和实验得出掺加特殊新型添加剂的高性能复合砂浆,涂抹在混凝土表面,不仅有效地提高混凝