景深对HAADF-STEM原子分辨率三维重构的影响

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 1次 | 上传用户:ljc20090204
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扫描透射电子显微镜高角环形暗场像通常被认为是样品内部结构的线性投影,被广泛地应用于倾转系列三维重构之中。但是,在像差校正电镜中,当电子束的横向分辨率提升到亚埃尺度时,其纵向景深也将缩小至纳米尺度。当景深小于样品的厚度时,高角环形暗场像将从样品内部结构的线性投影转变为样品内某一深度的光学层析。本论文通过理论模拟,研究了纳米尺度景深下原子分辨率三维重构的可行性。研究发现,当景深小于样品厚度时,三维重构技术只能正确重构样品中的局部区域。该区域的大小与入射电子束景深呈正相关,位置与入射束的欠焦量有关。另外,
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