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能够精确控制离子注入的能量从而控制掺杂的深度是离子注入机的重要特征。本文讨论了大束流离子注入机能量污染，产生的原因及降低能量污染的方法。
大束流离子注入机能量污染的研究
【摘 要】
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能够精确控制离子注入的能量从而控制掺杂的深度是离子注入机的重要特征。本文讨论了大束流离子注入机能量污染，产生的原因及降低能量污染的方法。
【机 构】
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电子部第四十八研究所,长沙大学物理系
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1998年4期
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