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随着科技的进步和社会的发展,传统的晶体管技术因为自身较多的限制引发出越来越多的使用局限。金属氧化物IGZO薄膜晶体管应运而生并迅速成为了众科学家研究的热点。金属氧化物IGZO拥有很多优秀的特性例如:迁移率较高、稳定性好、制造工艺简单等。本文通过对金属氧化物IGZO的结构特点以及其自身的介绍,总结出影响金属氧化物IGZO薄膜晶体管性能的主要因素。从而使读者能够对IGZO薄膜晶体管有一个较为全面的认识。