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X射线荧光光谱分析从20世纪80年代起就成为我国化探扫面分析最有效的手段之一[1]。进入21世纪后，新一轮目标地球化学调查工作全面展开，对分析准确度和检出限提出了更高的要求[2]，使用PHILIPS公司生产的新型MagiX PRO X射线荧光光谱仪进行多目标地球化学调查样品的多元素分析。经对5000多试样分析结果表明，该仪器可分析39个元素，其中内检合格率在96％以上的有23个元素，并首次给出Cl、Br、TI等元素的结果。