【摘 要】
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文章概述了多弧离子镀TiAlN涂层的研究现状及发展趋势,详细分析了Al元素含量和弧电流、N2流量、基体偏压、温度等工艺参数对TiAlN涂层的结构、硬度、结合力、耐磨性等性能的
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文章概述了多弧离子镀TiAlN涂层的研究现状及发展趋势,详细分析了Al元素含量和弧电流、N2流量、基体偏压、温度等工艺参数对TiAlN涂层的结构、硬度、结合力、耐磨性等性能的影响。目前,多弧离子镀TiAlN涂层存在液滴数量多,为了进步促进多弧离子镀TiAlN涂层的应用,进步优化工艺,发展纳米TiAlN涂层。
In this paper, the research status and development trend of TiAlN coating with multi-arc ion plating are summarized. The effects of Al content, arc current, N2 flow rate, substrate bias and temperature on the structure, hardness, Wear resistance and other properties. At present, there are many droplet sizes in TiAlN coating with multi-arc ion plating. In order to improve the application of TiAlN coating with multi-arc ion plating and improve the optimization process, nano-TiAlN coating is developed.
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