论文部分内容阅读
上海光源储存环真空系统已于2007年底建成并开始运行。这个真空系统采用了双室结构的薄壁不锈钢真空室，其尺寸公差都小于1mm，真空室安装位置公差都小于2mm；分散的吸收器有序排列在抽气室内，把同步辐射光准直并引入光束线，同时吸收废弃的同步辐射光，把热量转移到真空室外；波纹管内的高频屏蔽机构为单指型，避免了指间接触力和磨擦；（SIP＋NEG）复合泵、SIP和TSP共用，采用合理的激活NEG泵和升华钛丝的工艺程序，提供了强大的抽速和容量。真空预调试时各段真空室内的极限真空都达到5×10^-9Pa。全环