【摘 要】
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通过过程分析导出了ＣＶＤ合成超细粒子过程的一般动力学方程，通过鉴别试验确立了ＣＶＤ合成超细粒子过程的两大特征，简化了过程动力学方程，并进而建立了ＣＶＤ反应器中超细粒子粒度分布控制的反应
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通过过程分析导出了ＣＶＤ合成超细粒子过程的一般动力学方程，通过鉴别试验确立了ＣＶＤ合成超细粒子过程的两大特征，简化了过程动力学方程，并进而建立了ＣＶＤ反应器中超细粒子粒度分布控制的反应－凝并模型。设计试验检验了模型的可靠性，并利用该模型对ＣＶＤ过程进行深入研究。
Through the analysis of process, the general kinetic equation of CVD synthesis of ultrafine particles is deduced. Two distinguishing features of CVD synthesis of ultrafine particles are identified through the identification test. The process kinetics equation is simplified, Reaction - Condensation Model Controlled by Particle Size Distribution. The design test verifies the reliability of the model and uses this model to further investigate the CVD process.
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