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介绍了单片集成MEMS技术相对传统混合(hybrid)方法的优势;分析了单片集成MEMS技术实现的难点,同时,给出了目前与CMOS工艺兼容的多种单片集成MEMS的技术特点、工艺流程;详细阐述了目前各种post-CMOS技术.最后,给出单片集成MEMS技术的未来发展趋势.
单片集成MEMS技术
【摘 要】
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介绍了单片集成MEMS技术相对传统混合(hybrid)方法的优势;分析了单片集成MEMS技术实现的难点,同时,给出了目前与CMOS工艺兼容的多种单片集成MEMS的技术特点、工艺流程;详细阐
【机 构】
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西安电子科技大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2005年3期
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