论文部分内容阅读
利用热机械分析法(TMA)测定微电子级聚酰亚胺薄膜的线膨胀系数[1],研究了不同负荷、不同升温速率等测试条件对线膨胀系数测定结果的影响,以及薄膜的不同厚度与线性热膨胀系数之间的关系.结果表明:测定聚酰亚胺薄膜线性热膨胀系数时,升温速率≤5℃/min且越接近5℃/min,承载负荷选择20 g时,测定结果准确性越高.相同用途的聚酰亚胺薄膜厚度越大,线性热膨胀系数值越大.